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残余气体分析仪(RGA)何时使用 发布时间:2020-07-10

莱宝残余气体分析仪(RGA)也有检漏的功能,它和检漏仪有什么区别呢?

让大家探讨一下检漏仪和残余气体分析仪(RGA)的功能,以及何时需要使用RGA技术吧。

PART1\检漏仪如何工作

检漏仪可以识别,分析和测量进入或泄漏出封闭空间的气体或流体。检漏仪通常内置真空系统,既能搜索漏点,又能测量漏率。 

大多数检漏仪使用磁扇区质谱,检测氦气。粒子在真空中被电离,并随着电压的增加而加速,从而在磁场中将其分离,并将离子转变为电流。

PART2\残余气体分析仪(RGA)

残余气体分析仪(RGA)的功能不仅仅限于氦气,它能评估空间中存在的所有气体。

RGA的三个基本组成部分

离子源 -- 离子源用于将空间中的气体转化为离子。从热灯丝发射的电子利用电偏压加速。快速移动的电子与气体分子碰撞,将气体电离。 

离子过滤器(四极杠)-- 在给定条件下只有特定的离子能“穿”过四级杆到达探测器。

检测器 -- 穿过过滤器的离子与法拉第杯的金属板碰撞收集。随着电子转化为电信号,离子被中和,形成离子的电流。

PART3\RGA和检漏仪:异同

RGA和检漏仪都利用质谱原理。与检漏仪相比RGA的优势在于它能检测氦气以外的气体如丙酮或甲醇等,所以RGA的功能更多 “检漏”只是RGA的附加功能之一。

RGA没有配备独立的真空系统,需要设备的真空系统支撑。

PART4\RGA何时有所作为

RGA既可以用于极高真空系统的残余气体分析又能作为工艺气体监测仪实现工艺控制。

RGA应用示例

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